角散射式颗粒计数器的主要技术性能指标
1、最小粒径
最小粒径是颗粒计数器所能测量到的最小颗粒粒径，最小粒径越小，仪器的灵敏度越高，技术性能越好。整个角散射式颗粒计数器发展过程的重要标志之一就是仪器最小粒径不断减小的过程。购置仪器时，要根据使用要求慎重选定。
当前随着科学技术和生产工艺水平的日益进步和发展，更多的生产过程需要在更高的净化环境下进行并使用更洁净的试剂材料。以大规模集成电路芯片生产为例，随着芯片集成度的迅速提高，对生产环境的净化等级和所使用试剂材料的洁净度提出了比以前更为严格的要求。相应的，也就是仪器生产商开发研制出嗯呢该监控和检测更小粒径的颗粒计数器。
2、最大颗粒浓度
最大颗粒浓度即被测试样的最大允许颗粒数目浓度，目前生产的散射式颗粒计数器，其最大颗粒数目浓度可达8×104cm-3。当被测试样的颗粒数目浓度超出仪器给出的使用范围时，应采用洁净介质对试样稀释后在进行测量。除人工操作外，国外也为此专门设计了自动稀释装置。当颗粒数目浓度超过仪器限值后，稀释装置启动后，投入运行，待颗粒数目浓度降低到允许值后，装置自动关闭。
3、采样量
采样量Q即仪器单位时间所能处理（测量）的试样量，或仪器的进氧量。采样量是颗粒计数器的一个重要技术性能指标。从使用角度出发，要求仪器能有尽量大的采样量，以便在单位时间内能测量更多试样，获得更多信息，及时发现生产过程中的隐患，排除故障，提高经济效益。仪器的采样量过小时，测量结果统计意义上的客观性和参考性就差，完成规定样品量的测量时间也相应变长，不断提高采样量也是角散射式颗粒计数器整个发展过程中的一个重要方面。早期生产的仪器，其采样量很小，不足1L/MIN。近代颗粒计数器也将采样量提高到1L/min以上，大大提高了仪器的使用效率，当试样进样量超过仪器给定的允许值后，将导致计数效率的明显降低和粒径测量值得偏差，使测量结果的可信度降低，应予避免。
4、分辨率
分辨率是仪器给出的颗粒粒径的分档数或通道数，每一个通道对应于一定的粒径范围。通道数越多，可以获得更详细的颗粒粒径分布信息。用于洁净介质杂质污染控制中的角散射式颗粒计数器，通道数一般不超过6-8个。从使用角度考虑，已能满足需求。
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